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倍加福编码器激光编码器
更新时间:2021-07-19 07:32:20
倍加福编码器激光编码器是以激光为光源的编码器的总称。根据已发表的资料,其原理大体上可分为两种,即应用光栅千涉法及应用傅里叶影象法。光栅千涉法,波长的激光投射在间距为p的周期光栅上,在确定的角度的方向上产生衔射,这些衍射光之间相互千涉,本方法是对千涉条纹强度变化进行检测处理的一种方式。周期光栅若沿其阵列方向移动,则衍射光的强度不变,但相位发生变化。通过构成干涉仪来检测此种相位变化。对于由周期光栅产生的土m级衍射光相互间的干涉。
现在如果用土1级的衔射光,则光栅只要移动1个栅格间距,就能得到2个周期的正弦波输出,可使分辨率倍增。如用土2级衍射光,则分辨率成为4倍,但如使用普通的振幅光栅,其光量将比用1级衔射光时大大减少,由于激光是以衍射角入射到光栅.上,故反射的衍射光沿垂直方向返回,经由反射光学系统再度入射到光栅上,构成2次衍射。这种结构可使光栅每移动1个栅格间距得到4个周期的正弦波,能构成4倍的高分辨率。