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倍加福传感器压电式加速度传感器的发展概述

更新时间:2022-04-19 15:35:24

       倍加福传感器压电式加速度传感器的压电材料性能的改进以及压电材料的研制推动了压电传感器的进步。从开始的石英到BaTi03压电陶瓷,错钦酸铅(PZT)压电陶瓷,再到压电聚合物如聚偏二氟乙烯(PVDF)等压电材料。压电材料制备工艺的进展对压电材料的应用具有推动作用,单晶技术的进展培育了许多实用化的压电材料,薄膜工艺的进展为压电器件的平面化、集成化创造了条件。 

       倍加福传感器压电加速度传感器采用了基座压缩式结构形式,这种结构因易受外界环境影响,后演变为中心压缩型,然后又改进为各种剪切型设计,如环形剪切型。虽然剪切型的各种性能较优,但是剪切型的结构决定了它不能承受较强的冲击。剪切型对工艺的要求高,为了提高低频灵敏度,研制了压电梁式加速度传感器。随着MEMS技术和微机械加工技术的发展,还出现了可以把质量块、压电元件和基座做成一体的微小型压电传感器,拓展了压电传感器的应用领域。




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